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*1．激光额定出光功率>38W，中心波长：1035±5nm：
*2.脉宽<380 fs，单脉冲能量>40μJ@1MHz，光束直径 2.7 ±
0.3 mm ;
*3．脉宽调控范围包括350fs-10ps；频率调控范围包括1到0.9
MHz ;
*4.光学加工精度：光学精度=10μm；
*5．最大加工样品尺寸：加工样品尺寸=90×90 mm，最大成型
高度=20mm；
6．二维加工最小尺寸：二维加工最小线宽≤12pm;
7.复杂结构极限加工能力：加工最小圆锥尖端=1μm;最小孔
径=2μm;
8.拼接误差：标准材料拼接误差≤10μm
9.运动控制系统：配备高精密运动控制系统，XYZ运动轴的重复定位精度±10μm -
实现金属、非金属材料的精密加工
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加工材料：玻璃、硅片、氧化锆陶瓷、碳化硅、氧化锆等非
金属，以及金、银、铁、不锈钢等常规金属； -
严格执行操作规范
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200元/h
