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X-Y方向扫描范围为90µm x 90µm（典型值），85µm（最小值）。
Z方向扫描范围为10µm（典型值），9.5µm（最小值）
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2
。
噪音水平：
纵向噪音水平<50pm RMS值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下）。
XY方向闭环噪音水平<0.5nm RMS值（在典型的成像带宽条件下）。
Z方向闭环噪音水平<0.2nm RMS值（在典型的成像带宽条件下） -
通过探针与样品表面的相互作用，精确测量表面形貌，可达到原子级分辨率；能测量样品表面的力学特性，如弹性、硬度等；还可在纳米尺度上对样品进行操控和加工。
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在材料科学领域，观察材料表面的微观结构和缺陷，研究薄膜的生长机制；在生物学中，分析生物大分子的结构和细胞表面的形貌，探索生物分子间的相互作用；在纳米技术中，进行纳米结构的制备和操控，如光刻、纳米压印等；
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请申请者提前2周向我实验室提出申请，我实验室经过征询后判定是否符合共享条件，通知申请方，并与符合共享规定申请方沟通使用时间、使用条件、使用方式等。
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按照实验室对外开放共享管理制度执行
