大面积有机蒸发热镀膜机
- 规格型号：QHV-RM300
- 仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 电真空器件工艺实验设备
- 生产厂商： 沈阳奇汇真空设备股份有限公司
- 仪器设备类别： 专用
- 河南省柔性电子产业技术研究院
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1.极限真空：极限真空优于4×10-⁵Pa（新设备）
2.漏率：6.7×10-⁸ Pa·L/S
3.工作真空：工作真空5×10-⁴Pa，从大气到工作真空时间小于30分钟（新设备对接手套箱冷态下，充入N2开仓）
4.真空保压：极限后关机24小时后优于3Pa
5.样品尺寸：300×300mm
6.样品托尺：360×360mm -
在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。
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通过热蒸发的方式沉积金属薄膜或有机薄膜
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需培训后使用
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协议收费
