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1、单个探针外形尺寸：长=48.6mm, 宽=33.2mm,高=43.6mm;
2、样品台面平面度: 10 (um);
3、探针台总重量: 单针重量=225g;
4、三轴XYZ行程: ±10.0(mm)；
5、最大运动速度: 3mm/s;
6、细调分辨率: 1.2(nm);
7、包含可更换底座，可更换为光纤等；
8、可与原位电学探针测量系统共用控制器和电学测试单元。 -
1、使用探针操纵功能，可进行纳米材料操纵；
2、使用电学探针及光纤，可进行纳米器件电学光电等物性测量；
3、使用电学探针，可进行固态电池扫描电镜原位电学测试。 -
SEM原位电学、固态电化学测试
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该设备为聚焦离子束双束扫描电镜配件，需要结合聚焦离子束双束扫描电镜一起使用
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协议收费
