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1. 电子枪类型：超高亮度高稳定度的肖特基场发射电子枪；
2. 电子枪亮度：≥1.8×109 A/cm2/sr；
3. 束斑漂移：＜0.5 nm/min；
4. 总束流：75 nA，分析束流：1.5 nA@1 nm spot size；
5. 加速电压：20 kV-200 kV，连续可调；
6. 加速电压稳定度：≤1.0 ppm/10 min；
7. TEM模式：信息分辨率：0.12 nm；线分辨率：0.10 nm
8. 衍射模式：最大衍射角：±12°；
9. 会聚束电子衍射(CBED)最大会聚角：100 mrad（半角）；
10.扫描透射(STEM)系统：分辨率：0.16 nm. -
形貌，高分辨，衍射，能谱
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无机纳米材料，有机材料，高分子等材料的形貌观察、高分辨晶格像、电子衍射谱分析
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1. 粉体、液体、可测试，薄膜或块状样品不能直接拍摄，需另行制样（如离子减薄、包埋切片、FIB等），样品的厚度不超过100 nm；
2.粉体需5 mg左右，如果颗粒稍大一点，可做FIB减薄或其他方法至100 nm以下（可先拍SEM判定颗粒大小）；
3. 液体1 ml以上，如是分散的液体，尽量浓度稍大一些；
4. 一般制样选普通铜网或微栅铜网，如果颗粒直径小于10 nm用超薄碳膜制样；若样品含Cu，需要拍EDS能谱和mapping可选镍网或者钼网等；
5. 若样品有磁性（含铁/钴/镍/锰元素），务必备注清楚，若隐瞒样品实际信息，导致设备损坏，需承担全部赔偿责任；
6. 其它测试条件及样品可咨询本实验中心。 -
1000元/小时
