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1、输出电流100-800 A可调。 2、最大输出功率240 kW，最大输出电压120 V。 3、腔室压力条件： 3.1 反应腔体压力10 Pa-120 kPa范围可调，生产过程中20KPa-80KPa可任意区间维持压力动态平衡； 3.2 真空抽速大于85m3/h,，极限真空4pa; 3.3 腔体压力从10pa-100KPa升压时间小于2min
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新能源、催化、涂层等领域
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设备操作使用
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提前联系管理人员
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500元/小时（根据产品工艺难度，一事一议），需要专业人员操作设备
