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形状测量激光显微系统

规格型号：OLS5100
仪器分类：分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 其他
生产厂商： 奥林巴斯株式会社
仪器设备类别： 通用
河南省科学院
"分辨率：X/Y平面分辨率0.12um，Z轴显示分辨率0.5nm,Z轴采用0.78nm光栅尺；
电动载物台：原产超声波电动载物台，X/Y行程范围100mmX100mm，并有多幅图像拼接功能（2500幅图片），且拼接后可以进行数据测量； Z轴聚焦行程100mm（不加任何增高附件）, 单次扫描视野范围16μm~5,120 μm，Z轴在10mm内电动控制，并可以自动聚焦"
观察材料样品表面形貌，材料样品的表面微观分析等
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