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系统基于激光多普勒干涉原理，探测固体表面振动信息的光学测量系统，包含面外、面内振动模块和表面形貌测量模块。主要测量参数如下:
面外测量参数
最大测量频率300MHz
位移分辨率 7.5fm/√ Hz
面内测量参数
带宽范围 1Hz-2.5MHz
位移分辨率 5nm
时间分辨率100ns
表面形貌测量
垂直测量范围 250um
垂直分辨率 小于 1nm
可重复性0.25nm -
微型结构的面外和面内振动表征、表面形貌测量和表征。
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显微式激光测振仪可对微结构进行精确的面内和面外振动测量，具有极高的灵活性和测量精度。桌面式表面轮廓测量仪采用白光干涉原理，对微小结构进行表面形貌测量，以便随时改进微小结构的设计。
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请提前一周预约，需要提前提供样本信息。
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校内100元/小时，校外200元/小时。
