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1.SMU数量为4个：
1.1可输出电压范围：不小于200V
1.2最大直流电流：1A，最大脉冲电流：3A
1.3电流测量分辨率≤0.1fA
1.4 最大直流功率20W，最大脉冲功率不低于400W；
2. I-T测试能力。
2.1 I-T测试的最快采样率为1M
2.2 数据存储容量不小于100000个点。 -
测试电学器件的I-V, I-t特性曲线等
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可预约使用测试半导体器件的电学特性
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在使用前请学习操作说明，上机测试通过后可正常预约使用。
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200元/小时
