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主要用来提供一个低温、真空的环境，对器件进行非破坏性的光电学测试。它可以对材料或器件的电学特性测量，参数测量，DC测量和RF测量提供一个测试平台。
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1、温度范围：10K-350K。
2、4个直流探针臂，2个光纤臂，接地样品座。
3、探针臂的可移动距离X方向50mm，Y方向25mm，探针臂的可移动距离Z方向25mm。精度±2微米。
4、真空指标： 室温下：约5 × 10^-4 Torr；基础温度：约5 × 10^-5 Torr。
5、低温陶瓷探针，针尖10µm。
6、漏电精度低于100fA。 -
主要用来提供一个低温、真空的环境，对器件进行非破坏性的光电学测试。它可以对材料或器件的电学特性测量，参数测量，DC测量和RF测量提供一个测试平台。采购内容：购置1台半导体低温探针测试平台及配套设施。
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1、可接受的样品状态：薄膜、块体、电子器件等，高度不超过1cm。
2、样品量和样品尺寸要求：电极尺寸不小于200μm×200μm。 -
常温测试：400元/小时；低温变温测试：800元/小时。低温测试有液氦损耗
