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1、探针粗调范围：XY方向2.5mm，Z方向1.5mm；
2、探针细调范围：XY方向15μm， Z方向1.5μm；
3、探针细调分辨率：XY方向0.4nm，Z方向0.04nm，Z方向为探针前进后退方向；
4、探针粗细调控制方式：压电陶瓷驱动方式，软件控制，无需手动调节；
5、电学测量指标：包含一个电流电压测试单元；
6、电流测量范围：1nA-30mA，9个量程；
7、电流分辨率：100fA；
8、电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V -
1、电学测量功能；2、电学测量及探针操作功能；3、探针操作功能
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1、可进行透射电镜原位固体电化学研究；
2、可进行氧化物薄膜材料畴结构电池/力学调控； -
1、可进行金属纳米材料高分辨纳米力学研究；
2、可进行纳米器件透射电镜原位电学测量表征 -
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