表面高精度三维形貌轮廓白光干涉仪
- 规格型号：ContourX-200
- 仪器分类：分析仪器 -> 光谱仪器 -> 其他
- 生产厂商： Bruker Malaysia Sdn Bhd
- 仪器设备类别： 通用
- 河南省科学院材料研究所
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1.采用白光干涉院里成像，具备白光和绿光 LED 双光源；
2.台阶高度误差:<0.75%、台阶高度测试重复性:<0.1%；
3.RMS 重复性:<0.01nm；
4.五孔物镜自动切换塔台，包含5干涉物镜:6.71m 工作距离，与0.55倍放大器结合视场范围≥3x2.5 mm;20倍干涉物镜:4.7mm 工作距离，与0.55倍放大器结合视场范围≥0.7x0.6mm；
5.样品台倾斜调整:调节范围土6°。 -
1.表面形貌与粗糙度测量、薄膜厚度与台阶高度测量、晶圆缺陷检测；
2.纳米材料形貌：表征石墨烯、碳纳米管等材料的表面起伏和缺陷；
3.摩擦学实验：量化磨损前后的表面形貌变化，研究润滑机制。 -
用于各种元件三维表面轮廓、表面粗糙度、曲率半径和台阶高度的测量和校准，能够进行长度、深度等的精确测量。
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需与设备管理员沟通具体样品要求
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具体收费需与设备管理员沟通
