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1.离子枪数量和类型:3把;鞍形场散焦离子枪(非聚焦离子源);离子枪电压1-10kV:离子枪电流:0.5-4.5mA;离子束直径(半高宽):0.8mm@10kV，2.5mm@2kV;
2.样品最大直径38mm，高度12m，可加工区域最大直径 25mm。旋转速度:低、中、高三档可调;离子研角度0°-30°，旋转抛光样品台摆动角度可设置20，45°，90°，180°，360；
3.配置离子束截面切割样品台:离子束切割区域达到:宽 4mmx深度1mm;切割截面样品台可容纳样品尺寸:50x50x10mm。 -
采用氩离子束加工技术获得真实的、光滑无应力损伤的平整截面和大面积离子束抛光平面，从而适宜于SEM观察及EDS、WDS、Auger或者EBSD分析。
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采用氩离子束加工技术获得真实的、光滑无应力损伤的平整截面和大面积离子束抛光平面，从而适宜于SEM观察及EDS、WDS、Auger或者EBSD分析。
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需与设备管理员沟通具体样品要求
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具体收费需与设备管理员沟通
