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1) 能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半峰宽（FWHM）≤ 0.48 eV。
2) 大束斑能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰,能量分辨≤1.0 eV时，光源功率≤100 W条件下，计数率强度≥6 Mcps。
3) 微区分析（X射线束斑≤10 µm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤0.6 eV时，计数率强度≥50 Kcps，分析功率≤1.3W。
4) 微区分析（X射线束斑≤10 µm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤1.0 eV时，计数率强度≥100 Kcps，分析功率≤1.3W。
5) 微区分析（ X射线束斑≤20 µm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤0.6 eV时，计数率强度≥200 Kcps，分析功率≤5W。
6) 微区分析（ X射线束斑≤20 µm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤1.0 eV时，计数率强度≥400 Kcps，分析功率≤5W。
7) 能够执行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、变角AR-XPS。
8) 化学态成像模式：扫描X射线成像模式；每个像素点都有对应的图谱。
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X射线光电子能谱仪（简称XPS），通过使用X射线入射固体样品表面并采集从样品表面产生的光电子，提供表面的元素成分、元素化学态信息。XPS的分析深度小于10nm，被广泛应用于分析无机化合物、合金、有机高分子化合物、能源电池材料、催化材料等，表征表面成分，表面缺陷（腐蚀，异物，污染，分布不均等），表面多层薄膜等，对于各种材料开发，材料剖析与失效机理的分析和研究具有不可替代的作用。
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主要服务内容包括：样品表面元素组成分析（Li–U，H、He除外）、元素化学态及价态分析、表面污染与氧化层分析、薄膜及涂层成分分析、元素半定量分析、微区成分分析、线扫描与面分布分析（Mapping）、深度剖析（离子刻蚀深度分析）等。同时可针对半导体材料、金属及合金、能源材料、催化材料、高分子及功能薄膜等样品提供表面化学状态及界面信息分析，为材料研发、器件制备及失效机理研究提供重要数据支撑。
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1. 固态非磁性样品：不含挥发性物质、无毒、无辐射性、无腐蚀性、表面清洁；确保样品干燥充分。 2. 样品物性/外形 （1）导体、半导体和绝缘体均可进行常规XPS测试；UPS需确保样品导电性良好，表面平整、干净，制样尽可能新鲜；（2）对于不规则形状样品，需要送样人将样品加工成片状，建议上下面互为平行面； 3. 样品用量：（1）粉末、大颗粒、小圆棒：体积大于0.2 mL；如果需要压片，送样量(体积)应适当增加到0.75-1 mL；（2）薄膜/片状/块体样品：单个样品建议长×宽在3 mm × 3 mm以内，厚度≤3 mm；（3）深度剖析样品建议长宽在5 mm ×5 mm左右，厚度≤3 mm。
送样前至少提前1天预约；水氧敏感样品、特殊样品及特殊类型测试：至少提前2天联系。
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常规XPS测试（全谱+元素窄谱分析）参考收费为300元/样；元素精细谱增加测试按50元/元素计费；XPS成像或面分布分析400元/小时；角分辨XPS300元/角度；离子刻蚀表面清洁100元/次；深度剖析测试500元/小时；UPS价带测试600元/样。
