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精密刻蚀镀膜仪

规格型号:PECS II model 685
仪器分类:物理性能测试仪器 -> 力学性能测试仪器 -> 材料试验机
生产厂商: GATAN
仪器设备类别: 专用
河南科技大学
1.离子源:配置两支或以上配有稀土磁铁的潘宁离子枪,无耗材。

2.离子枪抛光角度:最低0°,最高18°,每支离子枪可独立调节。

3.离子束能量:最低100 eV,最高8.0 keV,离子束流密度:10 mA/cm2峰值。

4.样品大小:最大直径32mm,最大高度15mm;

5.液氮冷台:配置液氮冷台,样品最低温度-120°C。

6.抛光及镀膜功能:具有平面抛光、截面抛光及溅射镀膜三种功能。

7.靶材切换:无需破坏真空,可直接切换。
对于金属材料样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜.具有平面抛光、截面抛光及溅射镀膜三种功能。
提供离子束平面抛光服务,去除样品表面损伤层获得高质量表面;截面抛光制备服务,用于观察涂层截面、界面结合及多层膜结构;离子束溅射镀膜服务,为不导电样品镀制金、铂、碳等导电膜层;配备液氮冷台的冷冻截面制备服务,适用于热敏感材料如聚合物、生物样品的低温抛光;支持电子背散射衍射(EBSD)样品制备,提供高质量晶体学分析样品。
样品需清洁干燥,最大直径32mm,高度不超过15mm,脆性样品需提前加固;常规提供金、铂、碳等靶材,特殊靶材需提前沟通自备;根据材料硬度和目标效果,抛光时间通常为30分钟至数小时不等;需使用液氮冷台时请提前说明并预留充足准备时间;操作过程中严禁打开真空腔室,镀膜完成后需等待真空恢复至安全范围方可取样;常规靶材由实验室提供,特殊实验需求产生的额外耗材费用需另行结算;使用环境温度-10℃-35℃,湿度<80%,无腐蚀性气体、油雾、灰尘、电磁干扰及震动场所。
700元/小时
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