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高真空溅射薄膜沉积系统

规格型号：PLD450S
仪器分类：特种检测仪器 -> 其他 -> 其他
生产厂商： 沈阳科仪
仪器设备类别： 通用
河南科技大学
腔室尺寸:沉积室尺寸Ф450mm
进样室尺寸φ150mm*300mm
基片台尺寸：2英寸；基片可连续回转，转速5～20转/分
沉积室极限真空高度≤6.6*10-6Pa
进样室极限真空高度≤5X10-2Pa
沉积室抽速：沉积室从大气开始抽气：20分钟可达到6*10-3Pa
进样室从大气开始抽气：5分钟可达到10Pa
用来制备氧化物薄膜、金属薄膜、高温超导薄膜、铁电薄膜、生物陶瓷薄膜等功能薄膜方面的应用研究。
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