原子层气相沉积系统
- 规格型号：型号：MNT-S100Oz-L3S3，规格：1250*800*1450 mm
- 仪器分类：其他仪器 -> 其他 -> 其他
- 生产厂商： 江苏迈纳德微纳技术有限公司
- 仪器设备类别： 通用
- 河南大学
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用于4英寸及小尺寸样品薄膜沉积，标准4英寸腔体，直径100mm;加热温度可达400°C，精度±1°C;载气辅助源:三孔ALD阀门、载气脉冲ALD阀门、源手动阀、不锈钢源瓶;臭氧发生器风冷模式，尺寸不大于510*510*210mm;配有真空系统。
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用于沉积氧化物、及金属薄膜
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沉积氧化物、及金属薄膜
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沉积氧化物及金属薄膜种类有限制
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具体收费标准需面谈，联系本单位：0371-55611995。
