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1、加速电压200V ~ 30KV；
2、放大倍率×25 ~ 1,000,000；
3、探针电流1 pA ~ 50 nA，可连续调节；
4、X-Ray工作距离10 mm，EDS检出角35°；
5、载物台最多可同时放置18个标准样品座。 -
配备3种拍摄模式（Standard、Optiplan、Immertion）和多个探测器（ETD、T1、T2、T3、DBS）以及EDS能谱仪
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可对材料科学、半导体、新能源、生物学、医学等各领域样品进行超高分辨率的形貌观测、成分及元素分析。
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1、无油、无挥发性物质，含水样品、多孔类或易潮解样品需提前干燥处理；
2、含有铁钴镍元素或其他种类磁性元素的样品不能使用Immertion模式；
3、样品高度不得超出50mm，观察表面形貌，薄膜、块体尺寸宜在10*10mm左右。 -
制样费5元/样；
喷金200元/次（单次不超过9个钉台）；
非磁性样品200元/样（5张）；
磁性样品300元/样（5张）；
能谱分析300元/样。
