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1.离子束及辅助气体注入系统
1.1.1 离子源种类：液态Ga离子源
1.1.2交叉点分辨率：≤ 2.5nm @ 30kV
1.1.3加速电压：最低加速电压500V,最高加速电压为30 kV
1.1.4束流强度：1pA~100nA
2.电子束系统
2.1 电子枪类型：肖特基（ZrO/W）场发射灯丝
2.2分辨率：在最佳工作距离：≤0.6nm@ 15kV；≤ 1.0nm @ 1kV(非减速模式);0.9nm@1kV (减速模式)；在束交叉点分辨率：≤0.6nm@ 15kV；≤1.5nm@1kV（减速模式）
2.3 在束交叉点和大倾转角时，能有优异的图像质量
2.4 束交叉点工作距离：小于等于4mm
2.5 加速电压：加速电压200V－30KV
2.6 束流强度：至少包含1pA-100nA
3.探测器
3.1极靴内低位探测器（具有二次电子和背散射电子模式）
3.2样品室内传统二次电子探测器
3.3样品仓红外CCD相机
3.4样品仓彩色光学导航相机
4.样品台
4.1 五轴马达驱动样品台
4.2 X、Y方向移动范围不低于110mm -
双束扫描电镜是集成像，加工于一体的扫描电子显微镜。可用于微纳加工、微纳结构观察及分析、高质量定点TEM样品制备，设备主要功能要求：离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积、高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。
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双束扫描电镜是集成像，加工于一体的扫描电子显微镜。可用于微纳加工、微纳结构观察及分析、高质量定点TEM样品制备，设备主要功能要求：离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积、高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。
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固体块材，粉末，薄膜等。
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FIB：
常温FIB 院内：1000元/小时
低温FIB 院内：4000元/小时
