双束电子显微镜

 电子枪：肖特基场发射灯丝
 加速电压：0.5-30 kV
 束流范围：1pA-400 nA
 电子束分辨率：0.7 nm@30 kV
 液态Ga离子源：束流范围1.5pA-65nA；离子源寿命≥1000小时，分辨率：3.0 nm@30 kV
 样品台移动行程范围：X=110 mm，Y=110 mm，Z =65 mm，T=-15～+90°，R=360°。
 纳米机械手系统：纳米机械手步长60 nm，漂移精度70 nm/min，旋转精度0.2°，自动360°旋转功能

 高分辨率表面形貌观察
 微纳米尺度切割及刻蚀
 透射电镜样品制备
 原位纳米操纵实验
 纳米级分析与制造

 高分辨率表面形貌观察
 微纳米尺度切割及刻蚀
 透射电镜样品制备
 原位纳米操纵实验
 纳米级分析与制造

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