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电子枪:超亮冷场发射电子枪
加速电压:60-300kV
信息分辨率:70 pm
STEM分辨率:50 pm
EDS能量分辨率:136 eV(Mn-Kα)
聚光镜及物镜球差矫正器
STEM成像探头:高角环形暗场(HAADF)探头,明场(BF)和环形暗场(ADF)探头
能谱系统:四探头无窗式
CMOS相机:4k×4k,16M, DPC/iDPC成像系统
直接电子探测相机:探头尺寸4k×4k像素,像素尺寸:14×14 μm
能量过滤器电子能量损失谱,能量分辨率0.3 eV -
·低倍形貌成像
·高分辨率晶格像
·原子尺度TEM/STEM成像
·选区电子衍射(SAED)
·微区成分分析(EDS-Mapping)
·三维重构分析
·能量过滤透射成像(EFTEM)
·电子能量损失谱分析(EELS) -
形貌观察、微区结构表征、相位衬度像,原子级分辨率成像
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使用前请先与设备管理员联系
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