微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）
- 规格型号：UP-206
- 仪器分类：工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他
- 生产厂商： 深圳优普莱等离子体技术有限公司（Uniplasma Technologies Co., Ltd.）
- 仪器设备类别： 专用
- 郑州职业技术学院
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1微波频率：2450±25MHz
2输出功率：0.6kw~6kw 连续可调
3工作气压范围：10~250Torr
4基片台温度 250～1400℃（取决于工艺参数）
5采用红外测温系统，测温范围：250~1400℃ -
利用微波激发产生高密度等离子体，在低压真空环境下分解碳源气体，外延生长高纯单晶金刚石、多晶金刚石薄膜、类金刚石 DLC 膜，也可制备掺杂改性功能性金刚石材料。
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1. 由中心专职操作人员统一完成高难度、特殊样品加工测试；
2. 由校外人员经培训合格后自行上机操作，中心负责提供上机培训；
3. 中心负责设备日常管理、定期维护与故障排查，保障设备安全稳定运行。 -
1. 用户须严格按照设备申报流程规范预约报备，提前做好实验前期准备工作，保障实验有序开展；
2. 用户预约成功后，请按时上机使用。因个人原因未按时履约，造成耗材浪费、人力损耗等相关成本，由用户自行承担；
3. 设备使用期间，用户需严格遵守实验室规章制度及仪器操作规程，服从现场工作人员管理。仅限开展申报范围内的实验项目，严禁进行无关操作。实验结束后，须如实、完整登记仪器使用记录。 -
协议收费
