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1.采用 XYZ三轴全针尖扫描方式（XYZ三个方向都采用针尖扫描）；
2.最大样品尺寸140mm（直径），最大厚度18mm；
3.三轴闭环扫描器，扫描范围：XY方向100μmx100μm；Z方向15μm；4. XY轴闭环传感器噪音≤90pm，Z轴闭环噪音≤30pm RMS（反馈端）；
4.光电探测器采集带宽 8MHz，光学系统噪音RMS ≤2pm；
5.峰值力轻敲模式：采用2kHz的频率在整个表面做力曲线，直接利用探针和样品之间的峰值力做反馈，探针和样品间的作用力可以很小（≤20pN），能够对很黏很软的生物样品实现高分辨形貌成像。 -
用于表征微纳米尺度材料表面微观形貌、大小、厚度和粗糙度，表征微纳米尺度材料表面力学机械性能。
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1.纳米材料表面微观形貌、大小、厚度和粗糙度的表征；
2.微纳米尺度三维形貌；
3.定量测量样品的力学信息，包括模量、粘附力等；
4.测量样品导电性；
5.配有倒置荧光学显微镜；
可在生理环境下对生物样品进行原位表征。 -
符合学校大型仪器设备共享相关规定，具体事项请联系仪器管理员
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协议收费，具体请联系设备管理员
