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1. 单色化Al Ka X射线源，束斑20μm～900μm之间连续可调，对Ag3d5/2峰，能量分辨率≤0.44eV；
2. 配有紫外光电子能谱（UPS），能量分辨率：对Ag费米边，能量分辨率≤100 meV。
3. 配有深度剖析离子枪：单离子刻蚀模式，刻蚀能量500eV-4keV连续可调；团簇刻蚀模式，团簇离子数目75-2000个，刻蚀能量2keV-8keV。
4. 配有电荷中和系统，适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和；
5. 配有离子散射谱（ISS）和反射电子能量损失谱（REELS）。
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XPS是一种应用广泛的表面分析方法（10nm以内），可对周期表中除了H, He外的所有元素进行定性、定量和价态分析；UPS可分析导电样品的价带结构，测量样品的表面功函数等；深度剖析可对片状或薄膜材料进行逐层分析，得到各元素及其化学态含量随样品深度的变化规律；离子散射谱（ISS）用于区分样品表面第一个原子层及同位素信息；反射电子能量损失谱（REELS），满足对H元素的定性定量分析、对半导体材料的禁带宽度和带隙计算。该设备适用于纳米材料、半导体、陶瓷、矿物、催化剂、聚合物等领域的元素组成、和表面化学态研究。
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XPS常规采谱
紫外光电子能谱（UPS）
XPS角分辨测试
XPS成像
XPS价带谱
离子散射谱（ISS）
反射电子能量损失谱（REELS）
Ar离子表面清洁
深度剖析
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测试前请致电 河南理工大学分析测试中心（0391-3986378）详询测试细节
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XPS采谱 ： 200元/样（全谱+含C共5个窄谱，每多1个窄谱加50/元素；测试超过1小时，加收240/小时；磁性样品加收50/样）
紫外光电子能谱（UPS） ：500元/样
XPS角分辨测试 ：500元/样
XPS成像 ：800元/样
XPS价带谱 ：300元/样
离子散射谱（ISS） ：700元/样
反射电子能量损失谱（REELS）： 700元/样
Ar离子表面清洁 ：200元/样（超过5min，每增加1min加40元/样）
深度剖析 ：2000元/样（包含4层数据，超过层数加收200元/层；全谱+5个窄谱，每多加一个窄谱加50元/元素）
