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分辨率:05nm(15 kV)，0.7 nm ( 1.0 kV )，0.9 nm ( 500 V )
加速电压: 0.01 kV-30 kV
探针电流:1pA-500nA
倍率:10X-2.000.0X
能谱仪能量分辨率:129 eV -
用于样品：
1.表面成分分析；
2.表面形貌观测；
3.晶体取向分析;
4.电子束光刻加工。 -
扫描电子显微镜（SEM）是其利用电子束来扫描样品，通过电子与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌与成分表征的目的。
IT-800配备了牛津能谱探头、牛津 EBSD、离子溅射仪、EBL等设备。 -
样品无磁性，无水分、无挥发性、无放射性物质。
样品尺寸：尺寸最大为 20×20 mm，高度小于20mm。
未注册用户/院外用户可联系管理员代预约后送样。 -
600元/小时
EDS额外加收200 元/小时
EBSD/EBL额外加收 200元/小时
培训费用 4000元/人次
