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聚焦离子束/扫描电镜双束工作站

规格型号:*Zeiss/Auriga
仪器分类:分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 扫描电镜
生产厂商: 德国蔡司公司
仪器类别: 通用
郑州大学
电子束:
分辨率: ≤1.0 nm@15KV ,≤1.9 nm@1kV
放大倍率:12x ~ 1000kx
最低加速电压:≤0.1kV
无漏磁电磁物镜+静电透镜复合物镜结构,可对磁性材料近距离高分辨观察;
能实现高分辨率观察下的边切边看实时观察(非小物镜模式);
离子束:
离子束分辨率: ≤ 2.5nm@30kV;(多边统计法)
放大倍率:300x ~ 500kx(宝丽来图像版式);
加速电压:最低加速电压不高于1KV,最高加速电压不低于30 kV;
纳米机械手是双束聚焦离子束分析的重要附件,可以为提取FIB切割后的微小样品,很方便的为透射电镜进行样品制备。
同时和FIB配合,也可以对纳米材料进行搬运、操纵,大大扩展双束聚焦离子束分析的功能;
1.纳米加工
2.纳米原型设计
3.2D/3D纳米表征
4.纳米分析
双束系统服务于中场发射扫描电镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌,聚焦离子束用来对样品进行在纳微米尺度下的切割、刻蚀,透射样品制备等工作。
请提前一周预约
校内常规100元一个样品,校外常规200元一个样品
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