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                                    1、载物台:尺寸:150MM,不锈钢。
 2、主载物台:晶圆尺寸:25M-150MM,移动范围:155*155MM,分辨率:5um
 3、平整度:<=10um,y轴取放片行程90MM
 4、显微镜系统:手动,可调范围:150*150mm,倍数200*,CCD像素200万,显示其尺寸:21英寸
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                                    配合矢量网络仪及半导体参数分析仪进行在片测试
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                                    配合矢量网络仪及半导体参数分析仪进行在片测试
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                                    请提前一周预约
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                                    500-1000元/小时
 
             
                                     
                                     
                                     
                
                 
                
                