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1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
2.加速电压:0.1KV-30kV
3.放大倍数:25-100万倍
4.样品室尺寸:最大200mm直径样品
5.束流强度:10-13到2X10-9 -
显微结构的分析,纳米尺寸的研究。
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显微结构的分析,样品测试
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校内相关单位共享,不对外开放共享
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面议