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                                    功率:5kw
 等离子源:Ar
 靶材:金属靶、氧化物靶
 溅射温度:常温-450℃
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                                    用于薄膜材料的制备。
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                                    用于薄膜材料的制备。
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                                    需提前至少2周联系。
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                                    具体根据所制备的薄膜来确定,收费标准:基础收费200/样品/小时+靶材收费(根据金属现时价格来定),金,铂等贵金属靶材需自带。
 
             
                                     
                                     
                                     
                
                 
                
                