
-
功率:5kw
等离子源:Ar
靶材:金属靶、氧化物靶
溅射温度:常温-450℃ -
用于薄膜材料的制备。
-
用于薄膜材料的制备。
-
需提前至少2周联系。
-
具体根据所制备的薄膜来确定,收费标准:基础收费200/样品/小时+靶材收费(根据金属现时价格来定),金,铂等贵金属靶材需自带。