
等离子体增强化学气相沉积
- 规格型号:QHV-P400D
- 仪器分类:工艺实验设备 -> 化工、制药工艺实验设备 -> 化学反应工艺实验设备
- 生产厂商: 沈阳奇江真空技术有限公司
- 仪器类别: 专用
- 郑州大学
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压强:10T以下
真空度:1X10-3pa
温度:2000℃以下
锌源 镓源 -
生长ZnO Ga2O3
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生长半导体材料
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暂不对外开放
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暂不对外开放