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1、极限真空度:≤6.67×10-5 Pa (经烘烤除气后);
2、系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成。 -
电子束蒸发制备各种薄膜。
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电子束蒸发制备各种薄膜。
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不外对共享
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不外对共享