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电子束工作电压：500—2000V； 电子束电流：0.2—1nA；
分辨率：电子束工作电压1 Kv时<10nm； 放大倍数：250—65,000X；
扫描范围：1 x 1mm (max)； 样品大小100 x 60mm (max) -
一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
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可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
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需跟仪器管理实验室预约并确定仪器是否可实现所需功能。
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400元/小时。
