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1. 分辨率：3 nm/30 kV (SE)，4 nm/30 kV (BSE)，10 nm/3 kV (SE)
2. 样品室压力：最大2600Pa
3. 加速电压：200V-30KV -
利用电子束扫描样品表面，通过对二次电子、背散射电子的采集，得到物质微观形貌的信息；通过对特征X射线的采集，得到物质化学成分的信息。采用压差真空技术，可在高真空、低真空和环境真空条件下对样品进行观察和分析。
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样品表面形貌、组成元素及含量半定量表征分析。
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请申请者提前10个工作日向我实验室提出申请，我实验室经过征询后判定是否符合共享条件，并通知申请方，并与符合共享规定申请方沟通使用时间、使用条件、使用方式等。
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参照河南工程学院大型科研设施与仪器开放共享管理办法（试行）、河南工程学院分析测试中心仪器设备使用收费管理细则（试行）执行。
