教学用原子物理及核物理仪器（原子层沉积系统）
- 规格型号：Picosun/R200 Advance
- 仪器分类：分析仪器 -> 其他 -> 其他
- 生产厂商： Picosun OY
- 仪器类别： 专用
- 信阳师范大学
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1.原子层沉积系统主机
1.1腔体：采用双层腔体结构。
1.2.前躯体输运系统：配备6路独立的前躯体源管路。
1.3.前躯体源数量：配备4个常温液态源、2个加热源和2个气体源。
2.真空系统
Edwards品牌耐腐蚀真空油泵，型号：E2M80FX。
3.臭氧发生器
臭氧浓度可达12%W/W或者225g/Nm3，原料气体流速：0-10000sccm，工作压力：10-20PSIG，工作温度2-35°，冷却方式：空气风冷。品牌：INUSA，型号：AC-BENCH）
4.触摸屏电脑1台
17寸用于ALD反应器的操作（Picosun订制17英寸（厂家出厂标准配制）） -
在材料表面实现纳米级别的镀膜
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制备功能电极材料
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提前一周预约。
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参与信阳师范学院收费标准
