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1、分析室极限真空度优于5*10^(-9)； 2、角分辨XPS角度分辨优于1度； 3、束斑30-400微米连续可调； 4、能量分辨率优于0.5eV; 5、束斑为400微米时，Ag3d5/2峰半高宽优于1ev时,计数率大于等于1000000cps.
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多功能X射线光电子能谱仪（K-alpha+，美国赛默飞世尔公司）可以提供有关固体表面和界面的化学信息。可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态，并可以提供测定元素相对含量的定性、半定量分析。它广泛应用于研究聚合物、化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料。结合其它表征技术，可以对腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程进行研究。最具有特色的是XPS可以测定材料表面10nm左右的元素及化学态信息。
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氧化石墨烯的物理化学变化测控、半导体晶片上的超薄薄膜结构分析、分层太阳能电池、触摸屏复合涂层的检测评估、等离子表面改性、钢铁表面钝化工艺评估、BN玻璃、MEA燃料电池、耐磨镀层石油催化剂成像、食品安全——聚合物包装材料、MAGCIS深度剖析单一头发纤维。化合物、涂层材料分析
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