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1.类型： CCI 干涉（相干相关干涉） 。
2.分辨率： 0.1 A 。
3.测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )。
4.Talysurf CCI6000，10秒内完成测量数据点超过百万的表面测量，分辨率高达0.01 nm。 -
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
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表面形貌检测，三维形貌，粗糙度检测。超精密三维表面轮廓光学系列测量仪采用相干相关技术进行非接触式表面测量。
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请提前一周进行预约
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表面形貌及轮廓测量 100元/点/样
