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检测限:氧:0.5~50ppm 碳:0.01
精确度:±0.15ppm
硅片厚度:≤2mm -
测量轻掺硅片的氧碳
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可对轻掺硅片,及厚度小于2mm样块进行氧碳测试
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提前三天预约
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轻掺硅片;氧200元一片,碳200元一片,氧碳300元一片。