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硅片表面平整度测量仪

规格型号：ADE7200
仪器分类：计量仪器 -> 其他 -> 其他
生产厂商： 美国科天
仪器类别： 专用
麦斯克电子材料有限公司
厚度 范围 400-990μm 精确度≤±0.5 μm
RES 低阻测量范围是0.001～0.999Ω•cm； 高阻测量范围是0.2～199.9Ω•cm 精确度≤±2%
平整度 精确度≤±0.15 μm
型号 准确无误
测量硅片表面几何参数，以及电阻率型号等
厚度可测中心点，可测全表面2000余点，出最大最小值
平整度测量两种测量方式，局部平整度测量4种方式，
电阻率测量范围为中心至边缘（尺寸不同，距离边缘距离有差别）
测量硅片厚度，表面平整度、电阻率、型号
提前3-7天预约
4-8寸硅片；厚度200元/片，平整度（TTV、TIR、STIR）600元/片，弯曲翘曲（包含平整度）800元/片，电阻率200元/片，型号100元/片。全测1200元
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