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1）XY方向单次扫描范围： 150*150mm;
2）XY方向最小扫描步长： 0.1μm
3) 扫描速度： 20mm/s
4) 载重： 10Kg
5) Z方向允许样品的最大高度： 150mm
6) Z方向测量范围： 3mm
7) Z方向测量分辨率： 50nm
8）横向光学分辨率： 2.6μm
9)工作距离： 16.4mm
10)最大测量坡度： 85° -
对样品表面进行高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。
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对样品表面进行高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。
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暂无
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