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1.分辨本领：0.8nm。
2.放大倍数：12-40万倍。
3.电子发射系统：Schottky热场发射。
4.聚焦工作距离：0.1-50mm。
5.探测器：二次电子、背散射电子。
6.（附属设施）OXFOFD能谱仪（EDS）：元素分析范围Be4-Cf98。
7.（附属设施）电子背散射衍射仪（EBSD）：晶体取向和织构分析。
8.（附属设施）PECSII685.C型刻蚀镀膜仪：对导电性不好的样品表面镀膜，也可以对样品表面进行减薄，辅助EBSD分析试样的制备。 -
材料的微观形貌、组织、成分分析，结合能谱进行微区成分分析、元素定量、定性成分分析，多元素面分布扫描、晶体的相鉴定，结合EBSD进行组织质构与晶粒取向研究。
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该仪器可用于陶瓷、高分子、粉末、金属、金属夹杂物、环氧树脂等材料表面形貌、组织观察和成分分析。结合附带的能谱仪可对材料实时微区分析，可通过点、线和面扫描实现元素定量分析，多元素面分布分析，辅助实现相鉴定和相分布分析。结合附带的电子背散射衍射仪可实现晶粒取向和织构分析，附带的Channel5 软件可EBSD测试结果进行取向差、Schmid因子等晶体结构信息分析，绘制极图和反极图。
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请提前一周进行预约
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1.镀膜100元/批
2.SEM+EDS（委托检测）400元/小时
3.EBSD 600元/小时
4.样品表面离子抛光600元/样
