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电子枪真空度：优于10-7Pa数量级，样品室：10-4Pa数量级；二次电子像分辨率：1.0 nm @ 15 kV, 1.9 nm @ 1kV；探针电流：4 pA～20 nA,稳定性: 优于0.2%/h; 放大倍率：范围: 12×～1000,000×.
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能谱仪: 主要是用来分析材料表面微区的化学成分,分析方式有定点定性分析、定点定量分析、元素的线分布、元素的面分布。
离子溅射仪: 样品镀覆导电膜（金膜），喷碳，使绝缘材料能够导电，是配合扫描电子显微镜制样必备的仪器。
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扫描电镜（SEM）广泛地应用于金属材料和非金属材料等检验和研究。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
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在满足校内教学科研工作的基础上，对外实行共享，提前电话联系，说明相关的技术指标和注意事项，并网上预约。
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200元/小时
