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1.样品尺寸: x,y轴>200 mm, z轴 > 25 mm；
2.扫描非线性：<1.5%；
3.x,y轴扫描>90μm，最高分辨率优于0.3nm；
4.z轴扫描> 6μm，最高分辨率优于0.05nm；
5.可采用轻敲模式和接触模式测定；
6.变温测定范围：0～250℃。 -
用于观察金属、非金属、生物、半导体等材料样品表面粗糙度及微观形貌；观察样品表面的物质相图；观察样品表面镀膜厚膜层的微观结构测定样品表面物质结构以及样品的物理特性（静电、磁性及机械性能等）；观察生物物质的微观形貌。
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观察金属、非金属、生物、半导体等材料样品表面粗糙度及微观形貌；观察样品表面的物质相图；观察样品表面镀膜厚膜层的微观结构测定样品表面物质结构以及样品的物理特性；观察生物物质的微观形貌。
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按校内大型仪器共享平台网站预约申请测试、书面缴纳测试费。
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200元/样品（校外），100元/样品（校内）
