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1. 曝光类型：单面；
2. 曝光面积：≥φ115mm；
3. 曝光不均匀性：≤±2.9%；
4. 曝光强度：≥20mw/cm2，365nm波长纯净，照明面温度<35℃；
5. 分辨力：1.0μm（胶厚2 μm的正胶）； -
用于维纳电极的线条的制作
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用于维纳电极的线条的制作
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按校内大型仪器共享平台网站预约申请测试、书面缴纳测试费。
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400元/样品（校外），200元/样品（校内）
