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1.真空室内部尺寸1300毫米*1500毫米
2.极限真空度：清洁真空室，（抽气24小时后）<7*10(-5)Pa
3.恢复真空度：清洁真空室至7*10(-3)Pa，小于30分钟
4.设备漏气速率<9*10(-3)PaL/S
5.膜后控制系统：物理厚度监控系统和光学膜厚控制系统；
6.离子源：RF等离子体源
7.蒸发源：电子枪体两套,六位蒸发舟 -
根据工艺制定的工时计费，工时费用面议
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根据工艺制定的工时计费，工时费用面议
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以加工或试制服务的形式提供共享，如进入现场需符合保密有关规定。
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根据工艺制定的工时计费，工时费用面议
