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1）采用LED光源（白光和绿光），非接触式光干涉测量方式；
2）垂直测量范围：0.1nm至10mm，垂直分辨率：＜0.1nm；
3）横向分辨率： 0.1至13.1μm；
4）超长焦镜头工作距离34mm；
5）最大样品尺寸：D304mm×W304mm×H350mm；
6）台阶测试精度：0.75%；
7）倾斜调制范围：±6°;
8）具有无缝拼接功能。 -
适用于测试各种样品（透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射等）的表面三维形貌、表面粗糙度和台阶高度。
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样品检测，技术分析
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提前一周预约~
开放时间为周一到周五 早上8点~晚上5点 -
校内：（1）点测：100元/个（每个件通常测5-7个点）;（2）拼接：100元/mm2每1mm2(相当于点测9或16个点)
校外：（1）点测：200元/个（每个件通常测5-7个点）;（2）拼接：200元/mm2每1mm2(相当于点测9或16个点)
注：（1）测试时，少于3个样品，加收开机费100元，单个样品时间超过1小时，加收50元/小时。
（2）结构性试件及特殊项目，可参考相关行业标准协商确定。
