2012000913-热丝-PECVD及硬碳膜镀膜装置
- 规格型号：双室450型
- 仪器分类：工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 热处理加工工艺实验设备
- 生产厂商： 沈阳科学仪器研制公司
- 仪器类别： 通用
- 河南工业大学
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1、腔体直径450
2、灯丝功率9000W，
3、衬底温度600-2000度 -
硬碳膜沉积制备
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材料表面改性，提高耐磨性
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1、提前一周预约 2、提供基体（需要基体预处理） 3、基体尺寸最大不超过30mm（直径） 4、室内禁止吸烟和明火 5、遵守学校实验室管理规定
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每机时150元
