
-
400℃以下,原子级别薄膜沉积
-
薄膜制备的检测与分析
-
原子层精度介电薄膜制备,
-
请提前一周预约,仅可以做Al2O3和TiO2膜,制备厚度不超过5nm。
-
院内50元/样品/nm厚度,校内200元/样品/nm厚度,校外600元/样品/nm厚度