
-
沉积速率5nm/s,原位加热温度800度。
-
薄膜电池热蒸镀
-
样品制备
-
需提前至少2周联系。超出设备使用范围的薄膜制备,不做。
-
收费标准为:基础收费200元/样品/小时+靶材(根据靶材实际价格收取),完成样品制备后,靶材不退。金,铂等贵金属靶材自带。