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分辨率： 1.2nm @15 kV 2.2nm @1kV
放大倍数：10倍～100万倍
加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）
探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）
低真空范围： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）
样品室： 365 mm（φ），275mm（h）
样品台：5轴优中心全自动 -
高分辨率成像(纳米颗粒/薄膜等)，广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量
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用于材料微观结构表征，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析
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送检样品为固体或可处理的粉末样品等，应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性。送样人员要事先查阅文献，确定同类样品的前处理方法和分析条件，并做好前处理。此设备属高精尖仪器，请按说明书操作；注意保养维护，防止磕碰。
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600元/小时
