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1. 探针台主体：台面平整度小于5μm；4英寸真空吸附卡盘，最小吸住尺寸为0.3mm*0.3mm；卡盘可旋转，带独立真空开关； X-Y移动行程/调节精度：4英寸*4英寸/10μm；X-Y调节采用同轴结构,带有旋转锁定功能；卡盘升降行程/调节精度：4mm/1μm；具有卡盘快速升降功能；台体加装滑道，可以移出一部分。
2. Mitutoy金相显微镜 目镜：10X；物镜：2X、10X、50 X、100 X；变焦倍率: 1X-2X连续，最高可达到2000倍；高功率光纤光源，亮度无级调节；X-Y移动行程/调节精度：1英寸*1英寸/1μm；可加装CCD。
3. 探针座：真空吸附型探针座；X-Y-Z线性移动范围12mm*12mm*12mm；无回差调节，移动精度0.35μm；
4. 漏电流低于100fA。
5. 高温300度，温度可控，带有冷却装置。
6. 可以配合太阳能模拟器使用。 -
纳米接探针
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纳米器件检测
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校内提前两周预约，校外提前一个月。
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500元/样
